مطالعه نانو ساختار و خواص مکانیکی لایه های نازک نتیرید کروم بصورت تابعی از شرایط کندو پاش

نیترید براساس پوششهای سخت به طورگسترده ای برای کاربردهای مکانیکی استفاده میشود .درمیان این پوششها نیتریدکروم ها به طور ویژه قابل توجه هستند زیرا از خواص مکانیکی واصطکاکی خوبی برخوردارهستند.دراین کار تاثیر جریان گاز نیتروژن بر خواص مکانیکی و اصطکاکی لایه های نازک نیترید کروم مورد مطالعه قرار گرفت. لایه های نازک نیترید کروم روی آلومینیم 5083 بوسیله تکنیک کندوپاش مغناطیسی جریان dc درجریانهای مختلف گاز نیتروژن در رنجsccm 20-5 قرارگرفتند.شکل سطح وترکیبات شیمیایی لایه ها با استفاده از میدان گسیلی میکروسکوپ الکترونی روبشی (fesem) مورد مطالعه قرارگرفت. ضخامت لایه به وسیله دستگاه کنترل وتنظیم کریستال کوآرتز و بررسی تصاویر سطح مقطع میکروسکوپ الکترونی (fesem) تعیین شد. خواص مکانیکی و اصطکاکی نمونه ها به وسیله آزمون نانو دندانه کردن وتست خراش بررسی شد. نتایج نشان داد که سختی لایه ها با جریان گاز نیتروژن افزایش پیدا کرد درحالی که ضریب حجمی مالش و خراش کاهش پیدا کرد. بررسی ساختاری نشان داد که این رفتارها به علت کاهش چگالی جابجا شدگی و بهبود کیفیت کریستال بود.